ALD/CVD高纯度前驱体 - 上海源象化学有限公司

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上海源象化学是一家专业从事提供和开发用于化学气相沉积和原子层沉积薄膜材料所需的特种电子化学品—即ALD/CVD高纯度前驱体源，以支持相关科研院校在半导体、显示、纳米、新能源、催化等领域的学术研究。公司在苏州建设有2000平方米的研发中心和多条生产实验线，产品种类丰富。拥有完善的检测条件包括大型洁净室和ICP-MS等。

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A L D / C V D 高 纯 度 前 驱 体 上 海 源 象 化 学 有 限 公 司 跳 至 内 容 上 海 源 象 化 学 有 限 公 司 首 页 关 于 我 们 产 品 中 心 菜 单 切 换 产 品 分 类 常 见 前 驱 体 技 术 介 绍 常 用 工 具 联 系 我 们 菜 单 切 换 联 系 方 式 产 品 咨 询 上 海 源 象 化 学 有 限 公 司 M a i n M e n u 首 页 关 于 我 们 产 品 中 心 菜 单 切 换 产 品 分 类 常 见 前 驱 体 技 术 介 绍 常 用 工 具 联 系 我 们 菜 单 切 换 联 系 方 式 产 品 咨 询 上 海 源 象 化 学 欢 迎 您 了 解 更 多 公 司 介 绍 > 上 海 源 象 化 学 有 限 公 司 创 立 于 2 0 2 1 年 ， 是 一 家 专 业 从 事 提 供 和 开 发 用 于 化 学 气 相 沉 积 和 原 子 层 沉 积 薄 膜 材 料 所 需 的 特 种 电 子 化 学 品 — 即 C V D 和 A L D 前 驱 体 源 ， 以 支 持 相 关 科 研 院 校 在 半 导 体 、 显 示 、 纳 米 、 新 能 源 、 催 化 等 领 域 的 学 术 研 究 。 公 司 在 苏 州 建 设 有 2 0 0 0 平 方 米 的 研 发 中 心 和 多 条 生 产 实 验 线 ， 产 品 种 类 丰 富 。 拥 有 完 善 的 检 测 条 件 包 括 大 型 洁 净 室 和 I C P M S 等 。 团 队 主 要 由 具 有 国 际 和 国 内 著 名 高 校 教 育 背 景 的 博 士 和 硕 士 组 成 ， 从 业 经 验 丰 富 。 公 司 产 品 种 类 丰 富 ， 可 以 提 供 文 献 专 利 中 已 经 使 用 过 的 （ 目 前 常 用 的 大 多 数 ） 前 驱 体 源 ， 也 可 以 提 供 新 型 前 驱 体 源 的 设 计 制 备 服 务 。 > 我 司 的 核 心 业 务 是 提 供 研 发 级 的 先 进 的 C V D 和 A L D 前 驱 体 源 ， 用 于 制 备 学 术 研 究 和 企 业 研 发 用 的 金 属 / 氧 化 物 / 氮 化 物 / 碳 化 物 / 硅 化 物 / 硫 化 物 薄 膜 。 我 们 的 检 测 条 件 能 够 分 析 P P b 级 的 各 种 杂 质 ， 以 确 保 所 交 付 的 产 品 适 用 于 特 定 的 应 用 。 同 时 我 们 支 持 客 户 定 制 的 分 子 的 合 成 和 纯 化 工 作 。 > 我 司 可 提 供 定 制 合 成 的 前 驱 体 源 种 类 丰 富 ， 分 子 结 构 通 常 为 配 合 物 。 其 核 心 元 素 包 括 硅 以 及 所 有 稳 定 的 金 属 元 素 ， 具 体 分 子 结 构 详 见 产 品 列 表 应 用 领 域 【 半 导 体 微 纳 加 工 】 随 着 集 成 电 路 工 艺 技 术 的 不 断 提 高 ， 晶 体 管 的 特 征 尺 寸 及 刻 蚀 沟 槽 不 断 减 小 ， 沟 槽 及 其 侧 壁 的 镀 膜 技 术 面 临 严 峻 的 挑 战 ， 目 前 常 用 的 物 理 气 相 沉 积 （ P V D ） 及 化 学 气 相 沉 积 （ C V D ） 工 艺 已 经 无 法 满 足 极 小 尺 寸 下 良 好 的 台 阶 覆 盖 要 求 ， 因 此 能 够 控 制 纳 米 级 别 厚 度 的 高 质 量 超 薄 膜 层 制 备 的 A L D 技 术 成 为 未 来 发 展 的 趋 势 。 A L D 技 术 可 以 大 面 积 沉 积 均 匀 无 孔 的 超 薄 膜 ， 在 亚 纳 米 尺 度 上 精 确 控 制 膜 厚 ， 并 且 在 高 深 宽 比 、 形 状 复 杂 的 结 构 中 具 有 优 异 的 保 形 性 。 A L D 沉 积 薄 膜 的 温 度 窗 口 很 宽 ， 反 应 对 生 长 温 度 并 不 敏 感 ， 可 以 适 应 不 同 温 度 环 境 下 的 薄 膜 制 备 。 A L D 在 半 导 体 先 进 制 程 中 主 要 的 应 用 包 括 金 属 栅 、 栅 介 质 层 和 互 连 线 扩 散 阻 挡 层 加 工 工 艺 三 个 方 面 。 发 展 至 今 ， A L D 已 经 成 为 应 对 半 导 体 先 进 制 程 器 件 技 术 小 型 化 的 要 求 的 重 要 技 术 ， 在 先 进 制 程 领 域 有 着 广 泛 且 重 要 的 应 用 。 【 多 相 催 化 】 利 用 A L D 能 够 获 得 结 构 清 晰 的 催 化 剂 ， 通 过 原 子 尺 度 的 加 工 技 术 ， 可 以 实 现 对 催 化 剂 尺 度 、 组 成 、 孔 结 构 和 分 散 情 况 的 精 准 控 制 ， 能 够 快 速 实 现 单 因 素 实 验 的 设 计 ， 深 入 认 识 界 面 催 化 作 用 本 质 。 现 阶 段 ， 在 催 化 剂 界 面 调 控 方 面 ， A L D 已 经 发 展 出 包 覆 法 、 超 薄 修 饰 法 、 选 择 性 A L D 、 模 板 辅 助 A L D 和 模 板 牺 牲 层 辅 助 A L D 等 多 种 策 略 ， 能 够 获 得 具 有 核 壳 、 倒 载 金 属 、 氧 化 物 阱 限 域 金 属 、 多 孔 三 明 治 、 氧 化 物 管 多 重 限 域 、 管 套 管 式 多 界 面 和 空 间 分 离 多 界 面 等 多 种 结 构 。 A L D 技 术 在 催 化 领 域 的 应 用 可 以 促 进 催 化 机 理 的 研 究 与 高 性 能 催 化 剂 的 开 发 ， 最 终 推 动 石 油 化 工 、 生 物 催 化 等 相 关 领 域 的 发 展 。 【 超 级 电 容 】 超 级 电 容 器 由 于 功 率 密 度 高 , 循 环 寿 命 长 , 工 作 温 度 范 围 宽 , 安 全 稳 定 等 特 点 ， 被 认 为 是 替 代 传 统 化 石 能 源 的 高 效 能 量 转 换 和 存 储 设 备 ， 与 锂 电 池 等 储 能 手 段 相 互 补 充 。 目 前 能 量 密 度 低 的 瓶 颈 限 制 其 工 业 化 应 用 。 在 开 发 新 的 超 级 电 容 器 电 极 材 料 以 提 高 其 能 量 密 度 . 纳 米 结 构 电 极 材 料 的 研 究 加 速 了 超 级 电 容 器 的 发 展 , 相 比 块 状 材 料 , 纳 米 材 料 具 有 更 高 的 比 表 面 积 , 能 存 储 更 高 的 能 量 , 且 小 尺 寸 颗 粒 可 以 有 效 缓 解 充 放 电 过 程 中 电 极 的 膨 胀 和 收 缩 , 防 止 电 极 材 料 粉 化 , 提 高 循 环 稳 定 性 。 A L D 技 术 具 有 自 限 制 、 自 饱 和 以 及 优 异 的 三 维 共 形 性 和 大 面 积 的 均 匀 性 , 能 够 在 各 种 复 杂 的 表 面 上 进 行 沉 积 , 且 厚 度 精 准 可 控 , 因 而 在 超 级 电 容 器 领 域 有 很 大 的 应 用 前 景 。 【 光 伏 太 阳 能 】 太 阳 能 电 池 的 背 钝 化 技 术 能 够 有 效 提 高 电 池 的 效 率 。 在 目 前 已 有 的 硅 基 体 高 效 电 池 技 术 中 ， 氧 化 铝 背 钝 化 太 阳 电 池 将 提 升 电 池 效 率 的 工 艺 移 至 电 池 背 面 ， 因 此 其 与 其 他 的 高 效 电 池 技 术 及 新 的 提 高 电 池 效 率 的 制 造 工 艺 有 非 常 好 的 兼 容 性 ， 可 以 与 其 他 高 效 技 术 同 时 整 合 在 硅 太 阳 能 电 池 中 。 根 据 目 前 的 研 究 进 展 ， A L D 技 术 制 备 的 薄 膜 质 量 高 、 均 匀 性 好 、 钝 化 效 果 佳 ， 成 为 背 钝 化 技 术 发 展 的 主 流 趋 势 。 另 外 ， 在 最 新 的 薄 膜 太 阳 能 电 池 领 域 ， A L D 镀 膜 技 术 可 以 成 为 部 分 主 要 活 性 薄 膜 的 生 产 工 艺 ， 也 可 以 为 钙 钛 矿 薄 膜 等 柔 性 光 伏 组 件 提 供 良 好 的 水 氧 阻 隔 封 装 。 【 锂 电 池 隔 膜 材 料 】 目 前 在 新 能 源 乘 用 车 领 域 ， 动 力 电 池 的 主 流 是 三 元 材 料 锂 电 池 。 “ 三 元 材 料 ” 是 指 镍 钴 锰 酸 锂 N C M 正 极 材 料 。 镍 、 钴 、 锰 三 种 金 属 元 素 按 照 不 同 的 配 比 不 同 ， 形 成 不 同 种 类 的 三 元 材 料 。 通 过 提 高 镍 含 量 ， 可 以 延 长 续 航 里 程 ， 但 是 材 料 的 稳 定 性 也 会 变 差 ， 易 燃 易 爆 炸 ， 这 是 三 元 锂 电 池 安 全 隐 患 的 根 源 。 原 子 层 沉 积 可 以 通 过 使 用 特 殊 材 料 在 粉 末 状 的 锰 、 钴 、 镍 等 正 极 材 料 表 面 均 匀 镀 膜 ， 形 成 只 有 几 纳 米 厚 度 的 “ 核 壳 ” 结 构 层 ， 使 属 性 活 跃 的 高 镍 材 料 “ 安 静 ” 下 来 ， 不 再 容 易 分 解 或 与 其 他 物 质 发 生 反 应 ， 从 而 提 高 其 安 全 性 。 此 外 、 由 于 正 极 材 料 粉 末 镀 膜 后 ， 减 少 了 与 其 他 物 质 反 应 所 产 生 的 损 耗 ， 让 电 池 续 航 更 接 近 其 理 论 值 。 同 时 ， 由 于 材 料 更 稳 定 等 因 素 ， 允 许 的 最 大 充 电 电 流 也 相 应 变 大 ， 使 得 汽 车 的 充 电 速 度 也 可 大 幅 度 提 高 。 【 O L E D 柔 性 屏 隔 膜 】 O L E D 是 对 水 和 氧 的 防 护 比 较 弱 的 有 机 材 料 。 为 了 保 护 O L E D ， 制 造 商 会 在 O L E D 之 上 铺 上 许 多 层 的 薄 膜 ， 减 少 水 和 氧 的 侵 蚀 以 延 长 使 用 寿 命 和 维 持 性 能 。 A L D 技 术 可 以 制 备 原 子 薄 膜 层 ， M L D （ 分 子 层 沉 积 ） 技 术 可 以 形 成 有 机 材 料 分 子 层 ， 两 者 结 合 就 可 以 形 成 多 层 屏 障 ， 保 护 O L E D ， 使 之 免 受 水 和 氧 的 侵 蚀 ， 即 使 在 低 温 下 也 可 以 形 成 。 与 现 有 的 C V D 方 法 相 比 ， 引 进 A L D 技 术 在 屏 幕 生 产 过 程 中 有 一 些 特 别 的 优 势 ， 例 如 它 可 以 减 少 杂 质 ， 形 成 厚 度 相 同 的 高 质 量 薄 膜 阻 隔 层 ， 保 护 效 果 明 显 增 强 。 除 此 之 外 ， A L D 技 术 还 可 以 制 备 的 薄 膜 种 类 更 加 繁 多 ， 选 择 性 更 大 ， 这 也 是 它 的 一 个 优 势 。 【 先 进 材 料 表 面 改 性 】 A L D 技 术 是 一 种 从 底 部 向 上 的 制 备 薄 膜 涂 层 方 法 。 该 技 术 是 依 靠 连 续 的 、 自 限 和 表 面 控 制 的 气 相 化 学 反 应 而 进 行 的 。 期 间 连 续 的 原 子 层 会 以 周 期 方 式 沉 积 在 表 面 上 ， 直 到 达 到 所 需 的 膜 厚 度 。 这 种 成 膜 机 制 可 以 生 产 出 无 裂 纹 、 无 缺 陷 和 无 气 孔 的 致 密 材 料 ， 并 且 该 方 法 还 可 以 在 低 温 下 进 行 聚 合 物 和 其 他 敏 感 材 料 的 涂 覆 。 A L D 的 表 面 改 性 特 性 可 以 应 用 于 医 疗 器 械 、 珠 宝 加 工 等 领 域 。 特 殊 设 计 的 A L D 膜 具 有 超 薄 性 、 生 物 相 容 性 和 生 物 活 性 ， 可 应 用 在 制 备 外 科 植 入 物 上 从 而 可 以 提 高 植 入 物 与 骨 骼 的 粘 附 ， 不 仅 加 快 了 愈 合 过 程 ， 还 可 以 保 护 患 者 免 受 金 属 离 子 从 植 入 物 泄 漏 到 体 内 的 威 胁 。 A L D 技 术 在 医 疗 穿 戴 和 可 植 入 传 感 器 空 间 这 一 领 域 具 有 很 大 的 发 展 前 景 。 【 光 学 器 件 】 3 D 光 学 元 件 镀 膜 时 ， 面 临 的 挑 战 是 采 用 简 单 的 方 式 高 均 匀 性 地 涂 覆 沉 积 镀 膜 。 用 于 光 学 镀 膜 的 常 用 技 术 包 括 磁 控 溅 射 、 蒸 发 、 电 子 束 蒸 发 （ E B E ） 和 离 子 束 溅 射 （ I B S ) , 所 有 这 些 技 术 均 称 为 视 线 法 。 这 会 导 致 厚 度 分 布 和 阴 影 效 果 不 均 匀 。 A L D 克 服 了 这 些 限 制 条 件 ， 并 证 明 了 其 能 够 有 效 应 对 高 精 度 无 针 孔 薄 膜 的 挑 战 ， 不 仅 大 规 模 实 现 了 均 匀 性 ， 而 且 在 高 纵 横 比 结 构 上 实 现 共 形 涂 覆 。 目 前 ， A L D 技 术 已 达 到 极 高 的 可 靠 性 ， 使 其 成 为 批 量 生 产 关 键 光 学 涂 层 的 绝 佳 替 代 品 。 此 外 ， 这 种 光 学 涂 层 也 可 以 用 于 珠 宝 首 饰 加 工 行 业 ， 为 A L D 技 术 的 发 展 开 拓 了 一 个 方 向 。 业 务 范 围 我 们 的 目 标 我 司 的 核 心 业 务 是 提 供 研 发 级 的 先 进 的 C V D 和 A L D 前 驱 体 源 ， 用 于 制 备 学 术 研 究 和 企 业 研 发 用 的 金 属 / 氧 化 物 / 氮 化 物 / 碳 化 物 / 硅 化 物 / 硫 化 物 薄 膜 。 我 们 的 检 测 条 件 能 够 分 析 P P b 级 的 各 种 杂 质 ， 以 确 保 所 交 付 的 产 品 适 用 于 特 定 的 应 用 。 同 时 我 们 支 持 客 户 定 制 的 分 子 的 合 成 和 纯 化 工 作 。 我 们 致 力 于 成 为 国 内 沉 积 材 料 细 分 领 域 主 要 的 、 可 靠 的 综 合 供 应 商 。 我 们 的 使 命 是 在 战 略 型 电 子 材 料 本 土 化 的 进 程 中 发 挥 关 键 作 用 ， 并 进 一 步 使 新 兴 技 术 在 全 球 范 围 得 到 创 新 和 长 期 发 展 。 我 们 是 一 家 以 客 户 为 导 向 的 公 司 ， 致 力 于 为 客 户 提 供 优 质 高 纯 A L D / C V D 前 驱 体 源 以 及 相 关 服 务 。 源 象 拥 有 多 种 高 端 检 测 方 法 ， I C P M S 、 核 磁 、 红 外 、 液 相 色 谱 、 饱 和 蒸 气 压 T G A 测 定 仪 器 ， 可 以 保 障 产 品 质 量 并 提 供 完 整 的 物 性 数 据 。 我 们 是 一 家 以 客 户 为 导 向 的 公 司 ， 致 力 于 为 客 户 提 供 优 质 高 纯 A L D / C V D 前 驱 体 源 以 及 相 关 服 务 。 提 供 高 纯 度 电 子 化 学 品 我 们 的 服 务 > 我 司 提 供 上 百 种 常 用 A L D 和 C V D 前 驱 体 产 品 ， 能 供 应 从 克 级 到 公 斤 级 规 模 的 多 种 规 格 ， 产 品 纯 度 最 高 可 达 6 . 5 N ， 并 支 持 为 客 户 定 制 合 成 。 > 针 对 客 户 实 际 需 求 ， 我 司 提 供 钢 瓶 的 定 制 、 清 洗 、 灌 装 等 服 务 。 同 时 提 供 I C P M S 等 先 进 的 材 料 表 征 服 务 ， 能 够 对 产 品 和 钢 瓶 进 行 p p b 级 别 的 纯 度 分 析 。 配 备 氦 质 谱 检 漏 仪 ， 保 证 所 有 出 货 的 钢 瓶 气 密 性 良 好 。 产 品 中 心 联 系 我 们 拥 有 先 进 的 合 成 实 验 室 和 中 试 研 发 线 ， 能 供 应 克 级 到 公 斤 级 规 模 的 C V D 和 A L D 前 驱 体 源 ， 并 支 持 为 客 户 定 制 合 成 。 拥 有 化 学 实 验 室 和 小 批 量 生 产 线 ， 部 署 了 先 进 的 实 验 设 备 、 检 测 设 备 来 完 成 客 户 的 各 种 需 求 提 供 钢 瓶 的 定 制 、 清 洗 、 灌 装 等 服 务 ， 并 提 供 定 制 化 的 钢 瓶 液 位 测 量 解 决 方 案 。 配 备 氦 质 谱 检 漏 仪 ， 保 证 所 有 出 货 的 钢 瓶 气 密 性 良 好 。 更 优 质 的 服 务 更 优 秀 的 产 品 更 专 业 的 支 持 更 丰 富 的 经 验 我 们 寻 找 那 些 富 有 创 新 、 热 情 和 天 赋 的 你 我 们 乐 于 培 养 工 作 积 极 且 对 公 司 忠 诚 的 员 工 我 们 期 待 与 您 相 遇 ！ 上 海 源 象 化 学 有 限 公 司 沪 I C P 备 2 0 2 1 0 2 6 9 7 1 号 1

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