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一 站 式 微 纳 电 子 教 学 实 验 中 文 | E n g l i s h 手 机 号 登 录 手 机 号 验 证 码 获 取 验 证 码 游 客 游 客 登 录 如 老 用 户 无 法 登 陆 , 请 联 系 历 史 销 售 或 发 邮 件 至 i n f o @ i c z h i k u . c o m 申 请 C e l l P h o n e N u m b e r l o g i n C e l l P h o n e N u m b e r M o b i l e p h o n e v e r i f i c a t i o n c o d e G e t C o d e O l d u s e r s c a n t l o g i n n o r m a l l y , p l e a s e c o n t a c t t h e r e l e v a n t s a l e s s t a f f 典 型 客 户 一 览 ( 排 名 不 分 前 后 , 已 销 售 到 国 内 外 5 0 余 所 高 校 ) 7 n m 微 纳 电 子 器 件 教 学 套 件 1 4 n m 集 成 电 路 工 艺 教 学 套 件 7 n m 集 成 电 路 虚 拟 现 实 ( V R ) 实 验 室 7 n m 微 纳 电 子 器 件 教 学 套 件 当 前 工 艺 已 经 进 入 7 n m F i n F E T 时 代 ( 如 : 苹 果 A 1 3 处 理 器 、 华 为 麒 麟 9 8 0 处 理 器 、 高 通 骁 龙 8 5 5 处 理 器 ) , 结 合 2 0 年 工 业 界 F o u n d r y 服 务 经 验 , 我 们 推 出 了 7 n m 微 纳 电 子 器 件 教 学 套 件 , 缩 小 高 校 教 学 与 工 业 界 的 g a p 。 该 套 件 包 含 如 下 内 容 1 . 真 实 工 业 数 据 虚 拟 化 的 器 件 和 典 型 电 路 单 元 : 7 n m F i n F E T ; H E M T G a N ; 2 8 n m & 1 8 0 n m N M O S & P M O S ; L D M O S ; T B S O I & F D S O I ; N P N & P N P B J T ; D i o d e ; R e s i s t o r ; C a p a c i t o r ; V a r a c t o r ; J F E T ; T F T ; S R A M ; R O 2 . 虚 拟 化 测 试 仪 器 源 测 试 单 元 : 测 量 器 件 的 I V 特 性 L C R M e t e r : 测 量 器 件 的 C V 特 性 3 . 虚 拟 化 测 量 环 境 外 界 温 度 : 可 进 行 高 低 温 测 试 测 量 时 间 : 用 于 可 靠 性 测 试 如 H C I , N B T I 等 辐 照 剂 量 : 器 件 在 空 间 应 用 的 相 关 特 性 课 程 大 纲 / 4 2 学 时 硬 件 介 绍 D E 1 0 1 ( 点 击 查 看 ) 软 件 介 绍 T e s t L a b ( 点 击 查 看 ) M o d e l L a b ( 点 击 查 看 ) E E L a b ( 点 击 查 看 ) D a t a L a b ( 点 击 查 看 ) 其 他 材 料 快 速 操 作 指 南 ( 点 击 查 看 ) 开 发 目 的 ( 点 击 查 看 ) 设 备 使 用 常 见 问 题 ( 点 击 查 看 ) 宣 传 页 ( 点 击 查 看 ) 4 . 支 持 情 况 完 整 支 持 器 件 测 量 实 验 课 的 软 硬 件 设 施 和 全 套 实 验 教 材 5 . 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 器 件 测 试 工 业 级 半 导 体 器 件 测 试 实 验 模 块 完 整 支 持 器 件 测 量 实 验 课 的 软 硬 件 设 施 和 全 套 实 验 教 材 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 器 件 测 试 工 业 级 半 导 体 器 件 教 学 模 块 全 套 工 业 级 器 件 课 程 体 系 ( 如 : D I B L G I D L 效 应 等 ) , 是 当 前 半 导 体 物 理 和 器 件 教 学 的 有 效 补 充 ¥ 1 0 0 0 0 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 器 件 教 学 ( 点 击 查 看 ) 支 持 课 程 : 半 导 体 物 理 ( 点 击 查 看 ) 工 业 级 半 导 体 器 件 模 型 和 参 数 提 取 实 验 教 学 与 科 研 应 用 模 块 基 于 工 业 级 器 件 建 模 软 件 , 可 进 行 器 件 模 型 实 验 ( 提 供 全 套 实 验 教 材 ) , 也 是 强 大 的 科 研 工 具 ¥ 4 0 0 0 0 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 器 件 模 型 和 参 数 提 取 实 验 ( 点 击 查 看 ) 支 持 课 程 : 微 纳 电 子 器 件 科 研 创 新 平 台 A I ( 点 击 查 看 ) 支 持 课 程 : 半 导 体 创 新 平 台 ( 点 击 查 看 ) 1 : 器 件 测 量 设 备 及 其 原 理 2 : 器 件 测 试 脚 本 语 法 分 析 与 实 验 3 : 二 极 管 I V 特 性 测 量 实 验 4 : 二 极 管 C V 特 性 测 量 实 验 5 : B J T 输 入 特 性 测 量 实 验 6 : B J T 输 出 特 性 测 量 实 验 7 : 半 导 体 扩 散 电 阻 测 量 实 验 8 : J F E T 转 移 特 性 测 量 实 验 9 : J F E T 输 出 特 性 测 量 实 验 1 0 : J F E T 栅 电 流 特 性 测 量 实 验 1 1 : T F T 转 移 特 性 测 量 实 验 1 2 : T F T 输 出 特 性 测 量 实 验 1 3 : 半 导 体 电 容 器 C V 测 量 实 验 1 4 : M O S 变 容 器 C V 特 性 测 量 实 验 1 5 : 1 8 0 n m N M O S 转 移 特 性 测 量 实 验 1 6 : 1 8 0 n m N M O S 输 出 特 性 测 量 1 7 : 1 8 0 n m N M O S 衬 偏 特 性 测 量 实 验 1 8 : 1 8 0 n m N M O S 衬 底 电 流 测 量 1 9 : 1 8 0 n m N M O S 电 容 特 性 测 量 实 验 2 0 : S R A M 存 储 器 测 量 实 验 2 1 : 环 形 振 荡 器 测 量 实 验 2 2 : F D S O I 转 移 特 性 测 量 实 验 2 3 : F D S O I 输 出 特 性 测 量 实 验 2 4 : P D S O I 转 移 特 性 测 量 实 验 2 5 : P D S O I 输 出 特 性 测 量 实 验 2 6 : P D S O I 栅 电 容 测 量 实 验 2 7 : P D S O I 沟 道 电 容 测 量 实 验 2 8 : 2 8 n m N M O S 转 移 特 性 测 量 2 9 : 2 8 n m N M O S 输 出 特 性 测 量 3 0 : 2 8 n m N M O S 栅 电 流 特 性 测 量 3 1 : 2 8 n m N M O S 衬 底 偏 置 特 性 测 量 3 2 : 2 8 n m N M O S 衬 底 电 流 测 量 3 3 : 2 8 n m N M O S D I B L 特 性 测 量 3 4 : 2 8 n m N M O S 电 容 特 性 测 量 实 验 3 5 : F i n F E T 转 移 特 性 测 量 实 验 3 6 : F i n F E T 输 出 特 性 测 量 实 验 3 7 : F i n F E T I s u b 和 I g 特 性 测 量 实 验 3 8 : G a N 转 移 特 性 测 量 实 验 3 9 : G a N 输 出 特 性 测 量 实 验 4 0 : L D M O S 转 移 特 性 测 量 实 验 4 1 : L D M O S 输 出 特 性 测 量 实 验 4 2 : L D M O S 电 容 特 性 测 量 实 验 1 4 n m 集 成 电 路 工 艺 教 学 套 件 当 前 我 国 最 先 进 的 集 成 电 路 量 产 工 艺 已 经 进 入 到 1 4 n m , 以 E U V 光 刻 机 为 代 表 的 工 艺 制 造 设 备 价 格 极 其 昂 贵 , 高 校 很 难 采 购 这 类 设 备 用 于 教 学 , 同 时 , 新 手 操 作 容 易 损 坏 , 又 有 一 定 的 危 险 性 , 使 得 高 校 集 成 电 路 工 艺 教 育 与 真 实 工 艺 线 人 才 需 求 脱 节 。 为 此 , 我 们 研 发 了 1 4 n m 集 成 电 路 工 艺 套 件 。 该 套 件 包 含 如 下 内 容 1 . 完 整 的 1 4 n m 工 艺 线 虚 拟 制 造 设 备 操 作 : 氧 化 炉 、 C V D 设 备 、 P V D 设 备 、 刻 蚀 机 、 离 子 注 入 机 、 退 火 设 备 、 外 延 设 备 。 2 . 完 整 的 1 4 n m 工 艺 线 虚 拟 制 造 步 骤 及 晶 圆 微 观 结 构 、 参 数 特 性 、 电 学 特 性 等 : 氧 化 、 淀 积 、 光 刻 、 刻 蚀 、 离 子 注 入 、 扩 散 、 退 火 、 外 延 。 3 . 完 成 的 1 4 n m 工 艺 线 典 型 器 件 制 造 步 骤 及 器 件 微 观 结 构 、 参 数 特 性 、 电 学 特 性 等 : 1 4 n m F i n F E T ; G a A s ; L D M O S ; M O S F E T ; B J T ; D I O D E ; R E S I S T O R 。 课 程 大 纲 / 3 6 学 时 硬 件 介 绍 P E 1 0 1 ( 点 击 查 看 ) 软 件 介 绍 P r o c e s s l a b ( 点 击 查 看 ) 其 他 材 料 快 速 操 作 指 南 ( 点 击 查 看 ) 宣 传 页 ( 点 击 查 看 ) 4 . 完 整 支 持 半 导 体 工 艺 实 验 课 的 软 硬 件 设 施 和 全 套 实 验 教 材 。 5 . 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 工 艺 实 验 。 1 : 干 氧 氧 化 工 艺 实 验 2 : 湿 氧 氧 化 工 艺 实 验 3 : 离 子 注 入 的 深 度 与 能 量 关 系 实 验 4 : 离 子 注 入 的 剂 量 与 掺 杂 浓 度 关 系 实 验 5 : 离 子 注 入 的 角 度 影 响 实 验 6 : 扩 散 工 艺 时 间 对 掺 杂 浓 度 的 影 响 实 验 7 : 扩 散 工 艺 温 度 对 掺 杂 浓 度 的 影 响 实 验 8 : 二 极 管 制 造 实 验 9 : 集 成 电 路 电 阻 制 造 实 验 1 0 : M O S F E T 制 造 实 验 1 1 : 变 容 管 制 造 实 验 1 2 : S O I 制 造 实 验 1 3 : F i n F E T 制 造 实 验 1 4 : 三 极 管 制 造 实 验 1 5 : L D M O S 制 造 实 验 1 6 : J F E T 制 造 实 验 1 7 : G a A s 制 造 实 验 工 业 级 半 导 体 工 艺 实 验 模 块 完 整 支 持 半 导 体 工 艺 实 验 课 的 软 硬 件 设 施 和 全 套 实 验 教 材 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 工 艺 实 验 ( 点 击 查 看 ) 工 业 级 集 成 电 路 版 图 实 验 模 块 集 成 电 路 版 图 设 计 是 进 行 集 成 电 路 工 艺 制 造 的 必 要 输 入 , 该 模 块 完 整 支 持 版 图 设 计 实 验 的 软 硬 件 设 施 和 全 套 实 验 教 材 支 持 课 程 : 工 业 级 集 成 电 路 版 图 设 计 与 实 验 ( 点 击 查 看 ) 工 业 级 半 导 体 工 艺 教 学 模 块 完 整 支 持 半 导 体 工 艺 教 学 的 软 硬 件 设 施 和 全 套 教 材 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 工 艺 教 学 ( 点 击 查 看 ) 工 艺 制 造 器 件 测 试 联 动 实 验 模 块 将 7 n m 微 纳 电 子 器 件 教 学 套 件 和 1 4 n m 集 成 电 路 工 艺 教 学 套 件 联 动 , 实 现 从 工 艺 制 造 到 器 件 测 试 完 整 过 程 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 工 艺 实 验 ( 点 击 查 看 ) 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 工 艺 教 学 ( 点 击 查 看 ) 7 n m 集 成 电 路 虚 拟 现 实 ( V R ) 实 验 室 器 件 教 学 套 件 和 工 艺 教 学 套 件 为 用 户 提 供 了 一 个 学 习 7 n m 工 业 级 “ 数 据 ” 的 机 会 , 而 在 当 前 高 校 教 育 中 , 还 有 一 个 问 题 , 就 是 需 要 学 生 熟 悉 真 实 的 工 业 “ 场 景 ” , 场 景 + 数 据 的 模 式 , 让 同 学 能 够 “ 知 其 然 , 知 其 所 以 然 ” , 为 此 , 我 们 建 立 了 一 个 7 n m 集 成 电 路 虚 拟 现 实 ( V R ) 实 验 室 , 重 现 真 实 的 工 业 “ 场 景 ” 该 套 件 包 含 如 下 内 容 1 . 工 业 级 先 进 集 成 电 路 制 造 设 备 : 如 3 0 0 毫 米 ( 1 2 英 寸 ) 半 自 动 探 针 台 、 E U V 光 刻 机 等 。 2 . 工 业 级 先 进 设 备 使 用 过 程 模 拟 : 包 括 装 晶 圆 、 扎 探 针 、 工 艺 线 操 作 、 封 装 线 操 作 等 操 作 过 程 。 3 . 先 进 工 艺 线 全 流 程 模 拟 : 学 生 犹 如 置 身 于 一 个 真 实 的 工 艺 线 中 。 4 . 先 进 封 装 线 全 流 程 模 拟 : 学 生 犹 如 置 身 于 一 个 真 实 的 快 封 线 中 。 5 . 高 端 制 造 设 备 运 行 模 拟 : 学 生 犹 如 置 身 于 真 实 的 高 端 半 导 体 制 造 设 备 中 。 硬 件 介 绍 V R 1 0 1 ( 点 击 查 看 ) 软 件 介 绍 P r o b e L a b ( 点 击 查 看 ) F a b L a b ( 点 击 查 看 ) O S A T L a b ( 点 击 查 看 ) T o o l L a b ( 点 击 查 看 ) 其 他 材 料 宣 传 页 ( 点 击 查 看 ) 1 2 英 寸 虚 拟 探 针 台 虚 拟 测 试 工 业 场 景 , 与 7 n m 微 纳 电 子 器 件 教 学 套 件 配 合 使 用 , 提 供 全 套 软 硬 件 设 施 和 实 验 教 材 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 器 件 高 级 测 试 实 验 虚 拟 工 艺 线 虚 拟 工 艺 线 工 业 场 景 , 与 1 4 n m 集 成 电 路 工 艺 教 学 套 件 配 合 使 用 , 提 供 全 套 软 硬 件 设 施 和 实 验 教 材 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 高 级 工 艺 实 验 集 成 电 路 封 装 线 虚 拟 集 成 电 路 封 装 工 业 场 景 , 完 成 封 装 过 程 , 提 供 全 套 软 硬 件 设 施 和 实 验 教 材 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 封 装 实 验 集 成 电 路 高 端 制 造 设 备 虚 拟 集 成 电 路 设 备 工 业 场 景 , 完 成 设 备 实 验 过 程 , 提 供 全 套 软 硬 件 设 施 和 实 验 教 材 支 持 课 程 : 工 业 级 半 导 体 设 备 实 验 工 业 级 半 导 体 器 件 高 级 测 试 实 验 课 程 大 纲 / 4 0 学 时 1 : 二 极 管 I V 特 性 高 级 测 量 实 验 2 : 二 极 管 C V 特 性 高 级 测 量 实 验 3 : B J T 输 入 特 性 高 级 测 量 实 验 4 : B J T 输 出 特 性 高 级 测 量 实 验 5 : 半 导 体 扩 散 电 阻 高 级 测 量 实 验 6 : J F E T 转 移 特 性 高 级 测 量 实 验 7 : J F E T 输 出 特 性 高 级 测 量 实 验 8 : J F E T 栅 电 流 特 性 高 级 测 量 实 验 9 : T F T 转 移 特 性 高 级 测 量 实 验 1 0 : T F T 输 出 特 性 高 级 测 量 实 验 1 1 : 半 导 体 电 容 器 C V 高 级 测 量 实 验 1 2 : M O S 变 容 器 C V 特 性 高 级 测 量 实 验 1 3 : 1 8 0 n m N M O S 转 移 特 性 高 级 测 量 实 验 1 4 : 1 8 0 n m N M O S 输 出 特 性 高 级 测 量 实 验 1 5 : 1 8 0 n m N M O S 衬 偏 特 性 高 级 测 量 实 验 1 6 : 1 8 0 n m N M O S 衬 底 电 流 高 级 测 量 实 验 1 7 : 1 8 0 n m N M O S 电 容 特 性 高 级 测 量 实 验 1 8 : S R A M 存 储 器 高 级 测 量 实 验 1 9 : 环 形 振 荡 器 高 级 测 量 实 验 2 0 : P D S O I 转 移 特 性 高 级 测 量 实 验 2 1 : P D S O I 输 出 特 性 高 级 测 量 实 验 2 2 : P D S O I 栅 电 容 高 级 测 量 实 验 2 3 : P D S O I 沟 道 电 容 高 级 测 量 实 验 2 4 : 2 8 n m N M O S 转 移 特 性 高 级 测 量 实 验 2 5 : 2 8 n m N M O S 输 出 特 性 高 级 测 量 实 验 2 6 : 2 8 n m N M O S 栅 电 流 特 性 高 级 测 量 实 验 2 7 : 2 8 n m N M O S 衬 底 偏 置 特 性 高 级 测 量 实 验 2 8 : 2 8 n m N M O S 衬 底 电 流 高 级 测 量 实 验 2 9 : 2 8 n m N M O S D I B L 特 性 高 级 测 量 实 验 3 0 : 2 8 n m N M O S 电 容 特 性 高 级 测 量 实 验 3 1 : F i n F E T 转 移 特 性 高 级 测 量 实 验 3 2 : F i n F E T 输 出 特 性 高 级 测 量 实 验 3 3 : F i n F E T I s u b 和 I g 特 性 高 级 测 量 实 验 3 4 : G a N 转 移 特 性 高 级 测 量 实 验 3 5 : G a N 输 出 特 性 高 级 测 量 实 验 3 6 : L D M O S 转 移 特 性 高 级 测 量 实 验 3 7 : L D M O S 输 出 特 性 高 级 测 量 实 验 3 8 : L D M O S 电 容 特 性 高 级 测 量 实 验 工 业 级 半 导 体 高 级 工 艺 实 验 课 程 大 纲 / 2 4 学 时 1 : 二 极 管 制 造 高 级 工 艺 实 验 2 : 集 成 电 路 电 阻 制 造 高 级 工 艺 实 验 3 : M O S F E T 制 造 高 级 工 艺 实 验 4 : 变 容 管 制 造 高 级 工 艺 实 验 5 : S O I 制 造 高 级 工 艺 实 验 6 : F i n F E T 制 造 高 级 工 艺 实 验 7 : 三 极 管 制 造 高 级 工 艺 实 验 8 : L D M O S 制 造 高 级 工 艺 实 验 9 : J F E T 制 造 高 级 工 艺 实 验 1 0 : G a A s 制 造 高 级 工 艺 实 验 工 业 级 半 导 体 封 装 实 验 课 程 大 纲 / 3 6 学 时 1 : 双 列 直 插 封 装 实 验 2 : 小 外 型 封 装 实 验 3 : 薄 型 四 方 扁 平 式 封 装 实 验 4 : 晶 体 管 外 型 封 装 实 验 5 : 陶 瓷 针 栅 阵 列 封 装 实 验 6 : 细 间 距 球 栅 阵 列 实 验 7 : 晶 圆 级 扇 入 封 装 实 验 8 : 晶 圆 级 扇 出 封 装 实 验 工 业 级 半 导 体 设 备 实 验 课 程 大 纲 / 3 6 学 时 1 : E U V 光 刻 机 2 : 离 子 注 入 机 3 : 氧 化 炉 4 : 退 火 炉 5 : 扩 散 炉 6 : 低 压 化 学 气 相 沉 积 设 备 7 : 金 属 刻 蚀 机 8 : 硅 刻 蚀 机 9 : 介 质 刻 蚀 机 1 0 : 光 刻 胶 刻 蚀 机 1 1 : 化 合 物 刻 蚀 机 1 2 : 物 理 气 相 沉 积 设 备 1 3 : M O C V D 1 4 : 硅 外 延 1 5 : A L D 1 6 : 槽 式 清 洗 机 1 7 : 激 光 退 火 设 备 C o p y r i g h t © 2 0 2 0 m i n i s e k . c o m | 京 I C P 备 1 9 0 3 2 6 3 8 号 4 地 址 : 北 京 市 朝 阳 区 叶 青 大 厦 9 1 6 | 联 系 邮 箱 : y a o j i a n @ i c z h i k u . c o m | 电 话 : 1 5 2 0 1 2 8 3 0 5 1 ( 工 作 日 9 : 0 0 1 8 : 0 0 ) 请 选 择 您 要 进 入 的 类 型 普 通 本 科 高 校 职 业 院 校

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